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パーティクル抑制効果に優れたプラズマエッチング用セラミックス部材の開発

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 マッチングプランナープログラム

体系的番号 JPMJTM16C1
DOI https://doi.org/10.52926/JPMJTM16C1
研究責任者 笠嶋 悠司  国立研究開発法人産業技術総合研究所, その他部局等, 研究員
研究期間 (年度) 2016 (予定)

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JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2019-12-25   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2025-03-26  

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