超汎用型 SEM用 球面収差(Cs)／色収差(Cc)補正器の開発
| 体系的番号 |
JPMJSN16B6 |
| DOI |
https://doi.org/10.52926/JPMJSN16B6 |
| 研究責任者 |
川崎 忠寛 一般財団法人ファインセラミックスセンター, その他部局等, 上級研究員
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| 研究期間 (年度) |
2016 – 2018
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| 概要 | 走査電子顕微鏡に装着し、球面収差と色収差を同時に補正することで高分解能化できる日本発の電界型コレクタを開発する。顕微鏡の加速電圧やレンズ先端との距離の変更にも対応でき、焦点深度を拡大することで、多様な試料の観察を可能とする。さらに、操作性を向上することにより、広く世界に普及しうる革新的な要素技術の創出を目指す。
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