超高感度無線無電極MEMS水晶振動子センサーの開発

研究課題

体系的番号	JPMJSN16B5
DOI	https://doi.org/10.52926/JPMJSN16B5
研究責任者	荻博次大阪大学, 基礎工学研究科, 准教授
研究期間 (年度)	2016 – 2019
概要	世界で初めて開発に成功した無線・無電極圧電振動子センサーの原理を基盤とし、MEMSプロセスを駆使して温度補正を必要としない超高感度水晶振動子センサーを開発する。これは従来の振動子センサーの数万倍の質量感度を持つ素子であり、バイオセンサー、ガスセンサー、呼気センサーとしての革新的な要素技術となり、健康・安心・安全な社会に多大に貢献することが期待される。