室温原子層堆積法による金属酸化物ナノコーティング技術の事業化

研究課題

体系的番号	JPMJST1619
DOI	https://doi.org/10.52926/JPMJST1619
研究代表者	廣瀬文彦山形大学, 大学院理工学研究科, 教授
研究期間 (年度)	2016 – 2018
概要	本プロジェクトでは、室温(無加熱)で、金属酸化物(セラミック等)を、多種の素材からなる複雑形状の対象物に、ナノメートル単位で均一にコーティングすることができる小型コーティング装置を開発する。本技術により、製造装置の内部や、精密部品・有機エレクトロニクス部材などへのコーティングサービスを提供するベンチャーの設立を目指す。