スパース位相回復法によるコヒーレント軟X線オペランド計測

研究課題

体系的番号	JPMJPR177A
DOI	https://doi.org/10.52926/JPMJPR177A
研究代表者	山崎裕一国立研究開発法人物質・材料研究機構, 統合型材料開発・情報基盤部門, 主任研究員
研究期間 (年度)	2017 – 2020
概要	X線回折顕微鏡は、試料からのコヒーレント回折像に反復的位相回復法を適用して試料像を再構成するX線イメージング手法です。本研究では、デバイスや機能性材料の特性を解明するためにコヒーレント軟X線回折を利用したオペランド計測手法を開発します。特性発現に関与する活性領域の情報を効率よく抽出するために、スパースモデリングに基づく位相回復アルゴリズムや機械学習による特徴量の抽出方法を創出していきます。
研究領域	計測技術と高度情報処理の融合によるインテリジェント計測・解析手法の開発と応用

報告書

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