高空間分解能SiC・GaNウェハ結晶品質評価装置の開発

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開研究成果展開事業地域産学バリュープログラム

体系的番号	JPMJTM17B7
DOI	https://doi.org/10.52926/JPMJTM17B7
研究代表者	加藤正史名古屋工業大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授
研究期間 (年度)	2017 – (非公開)