多層エレクトレット集積型CMOS-MEMS振動発電素子の創製

研究課題

体系的番号	JPMJPR17R9
DOI	https://doi.org/10.52926/JPMJPR17R9
研究代表者	山根大輔東京工業大学, 科学技術創成研究院未来産業技術研究所, 助教
研究期間 (年度)	2017 – 2020
概要	本研究では、エレクトレット実装技術とCMOS-MEMS技術を融合し、環境振動エネルギーをmW級の電気エネルギーに変換する小型振動発電デバイスの実現を目指します。多層エレクトレットと高密度メタル可動電極および周辺回路・センサを集積化することで、無線通信可能な自己給電型環境センサ応用に向けた、新たな振動発電素子を実現します。
研究領域	微小エネルギーを利用した革新的な環境発電技術の創出

報告書

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