セルロース配合研磨液−ダイヤ/チタニア/セリア/セルロース四元複合粒子を用いたパワー半導体超平面創成材の開発

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 熊本復興支援(地域産学バリュープログラム)