ナノ配線を利用した電気抵抗温度依存性の小さな静電チャック用材料の開発

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 研究成果最適展開支援プログラム(A-STEP) 機能検証フェーズ 試験研究タイプ