メガヘルツ帯の空中超音波に対応した非接触型物体内部検査装置用高分解能マイクロアレイセンサの開発

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 研究成果最適展開支援プログラム(A-STEP) 機能検証フェーズ 試験研究タイプ