化学修飾フリー金表面改質技術の配線プロセスへの導入検証;酸化金生成と保存に関する新技術の開発

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 研究成果最適展開支援プログラム(A-STEP) 機能検証フェーズ 試験研究タイプ