制御低速酸素アニオンラジカル偏向収束ビームを用いた上質な原子層堆積膜生成の検証

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 研究成果最適展開支援プログラム(A-STEP) 機能検証フェーズ 試験研究タイプ