多孔質樹脂との摩擦現象を利用したSiCの新高能率研磨工具の開発

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 研究成果最適展開支援プログラム(A-STEP) 機能検証フェーズ 試験研究タイプ