MEMS用超高性能単結晶PZT系薄膜の量産化と高信頼性付与に関する研究

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 研究成果最適展開支援プログラム(A-STEP) 機能検証フェーズ 試験研究タイプ