電位補償した微分容量検出によるパワー半導体動作時のナノスケール解析装置
| 体系的番号 |
JPMJTM19BH |
| DOI |
https://doi.org/10.52926/JPMJTM19BH |
研究代表者 |
佐藤 宣夫 千葉工業大学, 工学部, 教授
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| 研究期間 (年度) |
2019 – 2020 (予定)
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| 概要 | 電圧印加によって実動作しているパワー半導体デバイスのナノスケール観測を行い，それらの観測結果に基づいた動作シミュレーションによる解析評価によって，半導体デバイスの理論的動作限界を見極める技術を確立する．
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