低損傷・高平坦性を実現する表面活性化法を用いた革新的ウェハ接合技術の開発

研究課題

体系的番号	JPMJTM19CE
DOI	https://doi.org/10.52926/JPMJTM19CE
研究代表者	豊田紀章兵庫県立大学, 大学院工学研究科, 准教授
研究期間 (年度)	2019 – 2020 (予定)
概要	数千個の原子の塊であるガスクラスタービーム(GCIB)照射により、低損傷かつ高平坦性を有する活性化表面を実現し、真空中でウェハ同士を接合することにより革新的ウェハ接合技術を開発する。