半導体製造プロセスをモニターする超小型高感度ガスセンサーの開発
| 体系的番号 |
JPMJTM19DB |
| DOI |
https://doi.org/10.52926/JPMJTM19DB |
研究代表者 |
狩野 旬 岡山大学, 大学院自然科学研究科, 准教授
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| 研究期間 (年度) |
2019 – 2020 (予定)
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| 概要 | 金属－半導体接合による，ショットキー障壁を利用した半導体製造プロセスをモニターする超小型高感度ガスセンサーの開発を行う。本提案は，産業ガス製造事業者の要求に応えるもので，新型ガスセンサーが開発でき次第，高純度ガスラインの純度管理に利用される。
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