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3次元構造への高速被膜技術の開発

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 研究成果最適展開支援プログラム(A-STEP) 機能検証フェーズ 試験研究タイプ

体系的番号 JPMJTM19C5
DOI https://doi.org/10.52926/JPMJTM19C5

研究代表者

西中 浩之  京都工芸繊維大学, 電気電子工学系, 助教

研究期間 (年度) 2019 – 2020 (予定)
概要本研究は、3次元構造に対して高い被覆性と高い形成速度を両立させる酸化物膜の形成手法を開発することを目的とする研究である。大気圧下で成膜可能な新規手法を用いて、高スループットかつ高い被覆性を実現できる技術を確立する。

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JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2020-03-11   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2025-03-26  

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