ナノ領域電子回折による高精度立体形状計測法

研究課題

体系的番号	JPMJTM19CM
DOI	https://doi.org/10.52926/JPMJTM19CM
研究代表者	服部賢奈良先端科学技術大学院大学, 先端科学技術研究科, 准教授
研究期間 (年度)	2019 – 2020 (予定)
概要	電子回折パターンの自動計測法及び逆空間への校正法の確立により、立体結晶表面の逆空間マップを高精度に作成する。立体デバイスの側面表面の表面結晶性や原子平坦性の評価技術を確立することを目的とする。