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ファインピッチ化に対応する高精度立体MEMSプローブ製造技術の確立

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 研究成果最適展開支援プログラム(A-STEP) 機能検証フェーズ 試験研究タイプ

体系的番号 JPMJTM19CL
DOI https://doi.org/10.52926/JPMJTM19CL

研究代表者

安藤 妙子  立命館大学, 理工学部, 准教授

研究期間 (年度) 2019 – 2020 (予定)
概要本研究では,40 µm 以下のファインピッチに対応するLSI検査用のMEMSプローブの開発を行う.マイクロスケールの複雑な立体構造を実現するために,シリコンの多段構造の加工,ポリマーの高精度アライメント接合などの加工技術を確立する.

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JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2020-03-11   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2025-03-26  

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