ファインピッチ化に対応する高精度立体MEMSプローブ製造技術の確立
| 体系的番号 |
JPMJTM19CL |
| DOI |
https://doi.org/10.52926/JPMJTM19CL |
研究代表者 |
安藤 妙子 立命館大学, 理工学部, 准教授
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| 研究期間 (年度) |
2019 – 2020 (予定)
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| 概要 | 本研究では，40 µm 以下のファインピッチに対応するLSI検査用のMEMSプローブの開発を行う．マイクロスケールの複雑な立体構造を実現するために，シリコンの多段構造の加工，ポリマーの高精度アライメント接合などの加工技術を確立する．
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