マイクロ音響素子用金属ガラス薄膜の開発

研究課題

体系的番号	JPMJTM19E7
DOI	https://doi.org/10.52926/JPMJTM19E7
研究代表者	Froemel Joerg 東北大学, 材料科学高等研究所, 准教授
研究期間 (年度)	2019 – 2020 (予定)
概要	本研究では高強度で低ヤング率というユニークな機械的性質を示す金属ガラスをダイアフラムとすることにより、既存の多結晶シリコンダイアフラムでは達成しえない高性能なMEMSマイクロフォンを実現する。