複数波長レーザを用いた厚板および大口径サファイアの熱応力割断技術の開発
| 体系的番号 |
JPMJTM19F7 |
| DOI |
https://doi.org/10.52926/JPMJTM19F7 |
研究代表者 |
古本 達明 金沢大学, 設計製造技術研究所, 教授
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| 研究期間 (年度) |
2019 – 2020 (予定)
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| 概要 | 波長が異なる複数のレーザを用い，試料内部に形成される熱応力場を制御し，厚さが30 mm以上の平板，直径が30 mm以上の円筒のサファイア結晶を，高歩留まり，高速・高精度で細分化するレーザ割断技術を確立する．
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