| 体系的番号 |
JPMJTM19EP |
| DOI |
https://doi.org/10.52926/JPMJTM19EP |
研究代表者 |
鎌田 憲彦 埼玉大学, 大学院理工学研究科, 教授
|
|---|
| 研究期間 (年度) |
2019 – 2020 (予定)
|
| 概要 | 本課題は、半導体や蛍光体の効率低下の原因となる結晶欠陥のエネルギー準位とその密度を、非接触で簡便かつ精度高く評価するための装置の検証である。本装置では異なる波長を持つ２つのレーザー光（光子エネルギーが半導体のバンドギャップより高いレーザー光と低いレーザー光）を用いて蛍光の強度を測定する。この手法は従来法に比べ電極が不要で適用性が広いが、レーザー光の照射位置と強度分布を試料表面で一致させる操作に熟練を要する点が技術課題であった。埼玉大学がこれまでの開発実績から編み出した照射光学系によりこれを克服し、電極が不要かつ製造現場向けの簡便な欠陥準位分析装置を開発し、今後の普及への道を切り拓く。
|
|---|
