トラック型熱プラズマによるパワー半導体SiC表面の新しい超高速大面積改質

研究課題

体系的番号	JPMJTM19F6
DOI	https://doi.org/10.52926/JPMJTM19F6
研究代表者	田中康規金沢大学, 理工研究域, 教授
研究期間 (年度)	2019 – 2020 (予定)
概要	「レーストラック型-線状誘導熱プラズマ」を開発し，基板上に，より長い熱プラズマを実現し，超高密度の原子およびラジカルを一様に直接基板に照射する「大面積・超高速表面処理技術」を提案する。