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トラック型熱プラズマによるパワー半導体SiC表面の新しい超高速大面積改質

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 研究成果最適展開支援プログラム(A-STEP) 機能検証フェーズ 試験研究タイプ

体系的番号 JPMJTM19F6
DOI https://doi.org/10.52926/JPMJTM19F6

研究代表者

田中 康規  金沢大学, 理工研究域, 教授

研究期間 (年度) 2019 – 2020 (予定)
概要「レーストラック型-線状誘導熱プラズマ」を開発し,基板上に,より長い熱プラズマを実現し,超高密度の原子およびラジカルを一様に直接基板に照射する「大面積・超高速表面処理技術」を提案する。

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JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2020-03-11   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2025-03-26  

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