制御ヒドリドを用いた上質な還元ナノプロセスの実証

研究課題

体系的番号	JPMJTM19YN
DOI	https://doi.org/10.52926/JPMJTM19YN
研究代表者	比村治彦京都工芸繊維大学, 電気電子工学系, 教授
研究期間 (年度)	2019 – 2020 (予定)
概要	本研究課題では、従来法では困難であった作成する薄膜の膜質をナノメートルオーダーで均一にする新規なナノプロセスの開発を目的とする。具体的には、制御ヒドリドを用いた上質な還元ナノプロセスの実証を行なう。