不活性ガス雰囲気で高感度・高選択的に応答するダイオード式水素センサ

研究課題

体系的番号	JPMJTM20H9
DOI	https://doi.org/10.52926/JPMJTM20H9
研究代表者	兵頭健生長崎大学, 工学研究科, 准教授
研究期間 (年度)	2020 – 2021
概要	現代のエレクトロニクス・精密機械産業では，製造工程で使用される不活性ガス中の水素が製品の性能に大きく影響を与えることから，それをリアルタイムで正確にインライン計測して濃度管理する技術の開発が急務である。しかし，不活性ガス中でサブppbオーダーの極低濃度の水素を検知できるガスセンサは，現時点では存在しない。本研究では，窒素ガス中の①極低濃度（数十ppt以上）の水素を高感度に，②他の可燃性ガス（炭化水素種など）に対して高選択的に，③湿度に影響されない，ガスセンシングデバイスを，表面やバルクの組成・構造を最適化した貴金属検知極とチタンの陽極酸化膜からなる「ダイオード式ガスセンサ」で実現する。