| 体系的番号 |
JPMJTR202C |
| DOI |
https://doi.org/10.52926/JPMJTR202C |
| 企業責任者 |
日本電子精機株式会社
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| 研究責任者 |
日下 靖之 産業技術総合研究所, センシングシステム研究センター, 主任研究員
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| 研究期間 (年度) |
2020 – 2024
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| 概要 | 高密度実装の再配線プロセスを劇的に高速化させるために、高速（タクト60秒以内）、高精度（座標誤差1 μｍ以内）、高解像度(最小線幅2 μｍ)をすべて満たす新規印刷プロセスを確立する。シーズ技術である「付着力コントラスト平版印刷」をベースとして、本プロセスのキーテクノロジーである刷版を、最小線幅2 μｍのパターンを連続2000回以上の繰り返し印刷可能なレベルまで高度化させる。さらに刷版の座標精度を担保するために、精密温度制御された製版装置を開発する。刷版原版、製版装置、高速高精度微細印刷装置の3つを最終製品として上市することを目指す。
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