計測システム応用に向けた高速MEMSテラヘルツ・赤外ボロメータの高性能化
| 体系的番号 |
JPMJTR20RB |
| DOI |
https://doi.org/10.52926/JPMJTR20RB |
| 研究責任者 |
平川 一彦 東京大学, 生産技術研究所, 教授
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| 研究期間 (年度) |
2020 – 2022
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| 概要 | 我々は、MEMS両持ち梁構造の機械的共振周波数が、梁の温度に非常に敏感に依存することを利用し、テラヘルツ・赤外光の入射による梁部の温度上昇がもたらす共振周波数のシフトを信号とする、新しい動作原理の室温動作熱型光検出素子（ボロメータ）を開発した。本MEMSボロメータは、現在広く用いられている焦電検出素子に比べ、同程度の感度を持ちつつ、検出速度が100～1000倍速いという特徴を持つ。本研究では、MEMSボロメータの高感度化、感度スペクトルの平滑化を図り、本素子が焦電検出器に取って代わり、フーリエ分光器など等に組み込まれ、分光器のコンパクト化、高速化に資するよう素子の高性能化を行う。
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