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ナノシート技術を用いた革新的誘電材料・デバイスの開発

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 研究成果最適展開支援プログラム(A-STEP) 産学共同(育成型)

体系的番号 JPMJTR20TB
DOI https://doi.org/10.52926/JPMJTR20TB
研究責任者 長田 実  東海国立大学機構 名古屋大学, 未来材料・システム研究所, 教授
研究期間 (年度) 2020 – 2022
概要層状金属酸化物の単層剥離により得られる原子膜「酸化物ナノシート」に注目し、ナノシートをベースとする革新的誘電材料、デバイス技術の開発を行う。高誘電性、サイズ効果フリー、高耐熱性などの特異物性を有する酸化物ナノシートをモデルケースに特性制御技術を確立し、巨大誘電特性を示す新規材料を開発する。さらに、ナノシートを1層ずつ精密集積、界面制御する原子膜エンジニアリングを利用して超薄膜素子を作製し、既存材料・技術で実現しえない超薄膜高容量キャパシタの開発を目指す。以上、本研究により、電子セラミックス部品の低環境負荷製造技術の基盤構築とともに、誘電体を利用した究極の安全蓄電デバイスの開発につなげる。

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JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2020-12-16   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2025-03-26  

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