ワンショット・ナノレベル表面形状測定機の事業化

研究課題

体系的番号	JPMJST2013
DOI	https://doi.org/10.52926/JPMJST2013
研究代表者	佐藤邦弘兵庫県立大学, 大学院工学研究科, 特任教授
研究期間 (年度)	2020 – 2022
概要	電子部品や機械部品などの表面凹凸や平坦度を、高分解能・大面積・ワンショットで測定可能な装置の開発を行う。スタンドアローン型装置の開発・製造・販売から、さらにインライン測定可能な装置の事業化を行うベンチャーの設立を目指す。