次世代「つながる」超精密光計測学構築への挑戦

研究課題

体系的番号	JPMJFR2027
DOI	https://doi.org/10.52926/JPMJFR2027
研究代表者	清水裕樹東北大学, 大学院工学研究科, 准教授
研究期間 (年度)	2021 – 2027 (予定)
概要	最先端計測・加工機に用いられる長さの「ものさし」光学式スケールの目盛り精度を保証する「差動型デュアル回折光検出法」を確立します．光コムレーザとGPS 通信を利用して長さ国家標準とリンクすることで，距離・時間に制約を受けない次世代「つながる」超精密計測のフレームワークを実現して従来のものづくり計測に破壊的イノベーションを起こし，あらゆる分野への波及効果が高い最先端ものづくり計測の実現を目指します
研究領域	井村パネル

報告書

(5件)

主な研究成果
(8件)

すべて 2024

すべて雑誌論文 (8件)

[雑誌論文] Laser Interference Lithography with a Spatial Light Modulator for Arbitrary Pattern Fabrication2024
- 著者名
  Nozomu Takahiro, Yuki Shimizu
- 雑誌名
  
  Proceedings of the The 9th International Conference on Nanomanufacturing
[雑誌論文] An Optical Head with Configuration for Measurement of the Pitch Deviation of a Diffraction Grating2024
- 著者名
  Yuya Yamazaki, Tomoki Kitazume, Yuki Shimizu
- 雑誌名
  
  Proceedings of the The 9th International Conference on Nanomanufacturing
[雑誌論文] Optical Angle Sensor Based on Laser Autocollimation with a Photodiode Array and a Multi-Longitudinal-Mode Laser2024
- 著者名
  Keita Nakaoka, Yuki Shimizu
- 雑誌名
  
  Proceedings of the The 9th International Conference on Nanomanufacturing
[雑誌論文] 回折スケール格子の高精度ピッチ偏差計測に関する研究2024
- 著者名
  北爪智希
- 雑誌名
  
  北海道大学大学院工学研究院令和6年度修士論文
[雑誌論文] アクティブ波面制御光干渉リソグラフィに関する研究2024
- 著者名
  高廣望
- 雑誌名
  
  北海道大学大学院工学研究院　令和6年度修士論文
[雑誌論文] 光干渉リソグラフィへの空間位相変調器適用に関する研究2024
- 著者名
  滝口翔介
- 雑誌名
  
  北海道大学工学部　令和6年度学士論文
[雑誌論文] 収束フェムト秒レーザ共焦点プローブの開発2024
- 著者名
  福間　健佑
- 雑誌名
  
  北海道大学工学部　令和6年度学士論文
[雑誌論文] 回折スケール格子ピッチ偏差計測向け小型光学ヘッドの開発2024
- 著者名
  田代直也
- 雑誌名
  
  北海道大学工学部　令和6年度学士論文

次世代「つながる」超精密光計測学構築への挑戦

研究代表者

清水 裕樹 東北大学, 大学院工学研究科, 准教授

報告書

主な研究成果

[雑誌論文] Laser Interference Lithography with a Spatial Light Modulator for Arbitrary Pattern Fabrication2024

著者名

雑誌名

[雑誌論文] An Optical Head with Configuration for Measurement of the Pitch Deviation of a Diffraction Grating2024

著者名

雑誌名

[雑誌論文] Optical Angle Sensor Based on Laser Autocollimation with a Photodiode Array and a Multi-Longitudinal-Mode Laser2024

著者名

雑誌名

[雑誌論文] 回折スケール格子の高精度ピッチ偏差計測に関する研究2024

著者名

雑誌名

[雑誌論文] アクティブ波面制御光干渉リソグラフィに関する研究2024

著者名

雑誌名

[雑誌論文] 光干渉リソグラフィへの空間位相変調器適用に関する研究2024

著者名

雑誌名

[雑誌論文] 収束フェムト秒レーザ共焦点プローブの開発2024

著者名

雑誌名

[雑誌論文] 回折スケール格子ピッチ偏差計測向け小型光学ヘッドの開発2024

著者名

雑誌名

清水裕樹東北大学, 大学院工学研究科, 准教授