| 体系的番号 |
JPMJTM20T1 |
| DOI |
https://doi.org/10.52926/JPMJTM20T1 |
研究代表者 |
藤井 知 豊橋技術科学大学, 情報通信システム工学科, 教授
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| 研究期間 (年度) |
2021
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| 概要 | コロナ禍において高速通信技術の需要が激増し、電波利用効率を上げる必要性から高精度な弾性波フィルタが求められる。この弾性波デバイスの材料としてAl-Scスパッタリングターゲットが必要となっている。申請者らは酸化Scをマイクロ波照射下にてMgを還元材とした還元反応により660℃の低温にてAl-Sc金属間化合物として製錬する画期的な手法を発見した。本方法は、弾性波素子に必要なスパッタターゲット材に要求される品質である低酸素・低炭素濃度を実現できる。そこで、企業にて事業化の判断が出来るよう、新発見に基づくマイクロ波還元炉の設計・作製とその反応条件の研究を行いそのターゲット材に要求される品質を実現する。
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