超高感度Au錘3軸MEMS加速度センサにおける容量オフセット削減技術の研究

研究課題

体系的番号	JPMJTM20N3
DOI	https://doi.org/10.52926/JPMJTM20N3
研究代表者	伊藤浩之東京工業大学, 科学技術創成研究院　ナノセンシング研究ユニット, 准教授
研究期間 (年度)	2021
概要	Au（金）錘３軸MEMS加速度センサにおける初期容量のオフセットを削減する回路技術を実現する。特許技術であるΔΣ型容量・デジタル変換器を活用し、さらに低雑音な実装技術を確立することにより、従来の３軸MEMS加速度センサが未踏の感度（雑音フロア）である10μG/√Hz未満の実現を目指す。