自己分極したμm厚みの圧電体膜を用いたフレキシブルデバイスの開発

研究課題

体系的番号	JPMJTM20N4
DOI	https://doi.org/10.52926/JPMJTM20N4
研究代表者	白石貴久東京工業大学, 物質理工学院, 助教
研究期間 (年度)	2021
概要	本研究では、自己分極したμm厚みの圧電体膜によるフレキシブル基材のコーティング技術の確立を目指します。具体的には、水熱法による200℃以下での低温成膜技術を基に、①フレキシブルな金属および有機基材に、②膜厚10μmを超える非鉛圧電体膜を堆積し、③分極処理を施すことなく、④100pm/Vを超える圧電定数の達成を目指します。本技術は、フレキシブル化が求められている振動発電素子と圧電センサの開発に応用可能であり、With/Postコロナ社会において医療および畜産分野で課題となっている“人手不足”の解消が期待されている『遠隔モニタリングシステム』の構築に不可欠なバッテリーレスセンサの実現に貢献します。