| 体系的番号 |
JPMJTM20LE |
| DOI |
https://doi.org/10.52926/JPMJTM20LE |
研究代表者 |
比田井 洋史 千葉大学, 大学院工学研究院, 教授
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| 研究期間 (年度) |
2021
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| 概要 | ダイヤモンドは精密加工用の工具刃先として使われ，特に高精度が要求される光学部品用金型製造に利用される．これら光学部品は高度通信用デバイス等に多用されるため，通信用デバイス製造にはダイヤモンド工具が不可欠だといえる．本申請ではダイヤモンドの3次元自由形状の形成を実現する．ダイヤモンド内部の所望の形状に沿ってレーザ照射すると，焦点部分が相変態しグラファイト層が形成される．これを電解エッチングで除去することで，焦点走査部から分離できる．ダイヤモンドを含まないエッチング性の良好なグラファイト層を形成することで，任意形状の分離を目的とする．分離の際の切りしろについては100μｍ以下を目標とする.
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