研究課題
戦略的な研究開発の推進 戦略的創造研究推進事業 CREST
すべて 2024
すべて 雑誌論文 (7件) (査読あり 7件、 オープンアクセス 7件)
Materials Science in Semiconductor Processing
巻: 182 ページ: 108727
J. Appl. Phys.
巻: 136 ページ: 055705
ECS Transactions 114, 215 (10 pages) (2024).
Appl. Phys. Express
巻: 17 ページ: 115503
IEEE J. Electron Dev. Soc.
巻: 13 ページ: 79-85
Japanese Journal of Applied Physics
巻: 64
巻: 190