| 体系的課題番号 |
JPMJTR211E |
| DOI |
https://doi.org/10.52926/JPMJTR211E |
| 企業責任者 |
須田 茂明 チェスト株式会社, 技術部, 課長
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| 研究責任者 |
庭野 道夫 学校法人栴檀学園, 東北福祉大学 感性福祉研究所, 特任教授
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| 研究期間 (年度) |
2021 – 2023
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| 概要 | 微量な一酸化炭素（CO）ガス等を検査対象とする超小型高感度ガスセンサを開発する。コロナウィルス感染症による肺疾患の検査・早期診断実現を目指し、精密呼吸機能検査装置への実装を目標とする。当該センサは、金属の陽極酸化技術と半導体微細加工技術の組み合わせにより、Ｓｉ基板上に形成する酸化チタンナノチューブ薄膜を検出媒体とする。ナノチューブ内壁面に触媒金属を担持することで感度・応答時間などを従来型に比べて１桁以上向上させ、Siチップ上にアレイ化した複数個のセンサ素子からの出力を機械学習で解析すると共に、検出ガス導入に新提案のショット吹き付け方式を適用することで多成分混合ガスのリアルタイム分析を実現する。
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