低消費電力な超長ストローク熱駆動MEMSアクチュエーターの開発

研究課題

体系的番号	JPMJAX21KF
DOI	https://doi.org/10.52926/JPMJAX21KF
研究代表者	橋本将明名古屋大学, 大学院工学研究科, 特別研究員
研究期間 (年度)	2021 – 2023
概要	膨大な熱エネルギーを消費してきた社会がカーボンニュートラル社会へとシフトするためには、高効率に熱エネルギーを機械エネルギー変換するハードウェアが不可欠です。本研究では、相変化ナノ薄膜と熱膨張ナノ薄膜を融合させた低消費電力で超長ストロークな熱駆動MEMSアクチュエーターを開発し、熱エネルギーを超高効率に機械エネルギーに変換する強靭化マイクロマシンの設計・製造基盤技術の創出に挑戦します。
研究領域	リアル空間を強靭にするハードウェアの未来

報告書

(4件)

主な研究成果
(5件)

すべて 2024

すべて雑誌論文 (5件) (査読あり 5件、オープンアクセス 5件)

[雑誌論文] 2光子マイクロ光造形とフェムト秒レーザアブレーションを用いた熱駆動ソフトマイクロアクチュエータ作製の基礎検討2024
- 著者名
  陳天州, 田口良広, 橋本将明
- 雑誌名
  
  熱物性
- 査読あり / オープンアクセス
[雑誌論文] Design of focus-tunable freeform microlens printed on kirigami MEMS actuator2024
- 著者名
  Yuki Matsuoka, Tomoya Tsutsui, Yoshihiro Taguchi, Masaaki Hahsimoto
- 雑誌名
  
  Proceedings of International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics 2024
- 査読あり / オープンアクセス
[雑誌論文] Fabrication and characterization of VO2 kirigami electrothermal MEMS actuator2024
- 著者名
  Tomoya Tsutsui, Yoshihiro Taguchi, Masaaki Hashimoto
- 雑誌名
  
  Proceedings of International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics 2024
- 査読あり / オープンアクセス
[雑誌論文] Direct writing of graphitic carbon/polydimethylsiloxane bimorph thermal microactuator via two-photon polymerization and laser-induced graphitization,” Mechanical Engineering Journal2024
- 著者名
  Yu Yamashita, Yasuko Tanaka, Chen Tianzhou, Yoshihiro Taguchi, and Masaaki Hashimoto
- 雑誌名
  
  Mechanical Engineering Journal
  
  巻: 11 号: 6
- 査読あり / オープンアクセス
[雑誌論文] Quadrant kirigami-type electrothermal MEMS actuator with multi-degree-of-freedom morphing capability2024
- 著者名
  Tomoya Tsutsui, Yoshihiro Taguchi, Masaaki Hashimoto
- 雑誌名
  
  Journal of Micromechanics and Microengineering
  
  巻: 35 号: 2 ページ: 025004
- 査読あり / オープンアクセス

低消費電力な超長ストローク熱駆動MEMSアクチュエーターの開発

研究代表者

橋本 将明 名古屋大学, 大学院工学研究科, 特別研究員

報告書

主な研究成果

[雑誌論文] 2光子マイクロ光造形とフェムト秒レーザアブレーションを用いた熱駆動ソフトマイクロアクチュエータ作製の基礎検討2024

著者名

雑誌名

[雑誌論文] Design of focus-tunable freeform microlens printed on kirigami MEMS actuator2024

著者名

雑誌名

[雑誌論文] Fabrication and characterization of VO2 kirigami electrothermal MEMS actuator2024

著者名

雑誌名

[雑誌論文] Direct writing of graphitic carbon/polydimethylsiloxane bimorph thermal microactuator via two-photon polymerization and laser-induced graphitization,” Mechanical Engineering Journal2024

著者名

雑誌名

[雑誌論文] Quadrant kirigami-type electrothermal MEMS actuator with multi-degree-of-freedom morphing capability2024

著者名

雑誌名

橋本将明名古屋大学, 大学院工学研究科, 特別研究員