大気圧プラズマジェット加工法が拓く自由曲面デバイス
| 体系的番号 |
JPMJAX21KD |
| DOI |
https://doi.org/10.52926/JPMJAX21KD |
研究代表者 |
中澤 謙太 静岡大学, 工学部, 助教
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| 研究期間 (年度) |
2021 – 2023
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| 概要 | 開発する微細加工システムは、ナノ・マイクロ大気圧プラズマジェットを用いてサブミクロンの加工分解能で自由曲面形状を創成できることに新規性がある。開発するシステムを用いて自由曲面MEMSといった未踏分野に挑戦するため、学術的価値の高い独創性のある研究である。多くのMEMSの分解能や可動範囲などの性能を極限的に向上させことができるため波及効果は大きく、MEMSの付加価値を飛躍的に高めることができる。
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| 研究領域 | リアル空間を強靭にするハードウェアの未来 |
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