真空内稼働センサデバイスの基盤技術整備とマルチモーダル化

研究課題

体系的番号	JPMJTM22D1
DOI	https://doi.org/10.52926/JPMJTM22D1
研究代表者	酒井道滋賀県立大学, 工学部, 教授
研究期間 (年度)	2022 – 2023
概要	真空装置内で動作可能な小型無線センサの汎用化とマルチモーダル化を進め、真空装置を用いる半導体産業等のプロセスにおいて、装置内現象のデータ取得量を桁違いに増加させることに資する。ハードウェアの基盤整備を行い、プロセス状態変数量をその場自動検出し、装置内測定データと測定箇所を増加させ、状態可視化と機械学習用データ取得を促進する。