| 体系的番号 |
JPMJTR22R5 |
| DOI |
https://doi.org/10.52926/JPMJTR22R5 |
| 研究責任者 |
山根 大輔 立命館大学, 理工学部, 准教授
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| 研究期間 (年度) |
2022 – 2024
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| 概要 | Society 5.0では、物理センサの高感度化により、従来未計測の物理量を用いた新たなCyber-Physical空間も実現できる。MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）技術はセンサの小型化・低消費電力化に有用である一方、高感度化には素子材料変更・寸法拡大、バイアス電圧増大などが必要であり、他性能とトレードオフになる。そこで本提案は、SAE（Self-Assembled Electret）によりMEMS物理センサにバイアス電圧を印加し、MEMS素子と周辺回路の性能を維持しつつ、センサ高感度化を実現する自己バイアス式集積化SAE-MEMSセンサを開発する。
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