マイクロ波励起プラズマ処理によるシリコン窒化膜中水素濃度分布制御と電圧駆動型固体素子ニューロンの開発

研究課題

体系的番号	JPMJTM22BL
DOI	https://doi.org/10.52926/JPMJTM22BL
研究代表者	三谷祐一郎東京都市大学, 理工学部　電気電子通信工学科, 教授
研究期間 (年度)	2022 – 2023
概要	不揮発性メモリをニューロンとすることで、低消費電力化、小型化、高速処理が可能な脳型コンピューティングの実現が期待されている。本研究では、電荷捕獲型メモリ素子を構成するシリコン窒化膜中の水素濃度分布を熱非平衡プラズマ処理により精密に制御することで固体素子ニューロンを実現し、低コスト、かつ高信頼なニューロモルフィックハードウェア開発への展開を目的とする。