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希少金属を使わない高移動度酸化チタン薄膜トランジスタの開発

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 研究成果最適展開支援プログラム(A-STEP) トライアウト トライアウト

体系的番号 JPMJTM22AG
DOI https://doi.org/10.52926/JPMJTM22AG

研究代表者

廣瀬 文彦  山形大学, 大学院理工学研究科, 教授

研究期間 (年度) 2022 – 2023
概要有機ELや液晶ディスプレイのアクティブマトリクスを構成する高移動度薄膜トランジスタを資源的に豊富で枯渇の恐れがない酸化チタンで実現する。そのために、原子層レベルで高度に調整された金属酸化物複合膜パッシベーションを室温原子層堆積法で形成し、高移動度化を図る。また、低抵抗化のためのイオンドープ調整を行う。

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JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2023-01-10   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2025-03-26  

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