難加工材料に均一なナノ周期構造体を効率よく作製できる技術の確立

研究課題

体系的番号	JPMJTM22BS
DOI	https://doi.org/10.52926/JPMJTM22BS
研究代表者	宮地悟代東京農工大学, 大学院工学研究院, 准教授
研究期間 (年度)	2022 – 2023
概要	サファイアは半導体デバイスの基材として広く使用されているものの、既存技術では微細加工が困難であった。本研究では、サファイアのような難加工材料表面に、周期200nm、アスペクト比が3以上でそろった均一なナノ構造体をシンプルな工程で効率よく作製する手法を開発する。