常温動作磁気モーメント制御型磁気センサの高性能化

研究課題

体系的番号	JPMJTR221D
DOI	https://doi.org/10.52926/JPMJTR221D
企業責任者	フジデノロ株式会社
研究責任者	内山剛名古屋大学, 大学院工学研究科, 准教授
研究期間 (年度)	2022 – 2025
概要	良導体周辺に形成したナノ結晶軟磁性膜材料を感磁部として用いた常温動作磁気モーメント制御型磁気センサを、磁気特性改善を目的とした精密制御磁性膜形成プロセス、及びセンサ駆動回路の低ノイズ化を開発することにより、磁気分解能10pT以下を常温動作で実現する。この超高感度磁気センサを用いて小型高性能磁気探傷装置や地磁気計測装置、セキュリティ関連装置、また脳磁計測装置といった幅広い常温動作微小磁気計測システムの応用製品を開発する。

主な研究成果