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2D材料CMOS・デバイス集積化技術の開発

研究課題

戦略的な研究開発の推進 未来社会創造事業 探索加速型

体系的番号 JPMJMI22E4
DOI https://doi.org/10.52926/JPMJMI22E4

研究代表者

長汐 晃輔  東京大学, 大学院工学系研究科, 教授

研究期間 (年度) 2022 – 2026 (予定)
概要従来のSi半導体が直面している微細化限界を2次元材料の導入で打破し,デジタル化により効率的な社会構造を将来的に渡って継続させる「グリーンbyデジタル」の実現を目指す。現状の課題:P型の特性が低く,PNでのCMOS動作実証されていない。解決策:金属電極の実効仕事関数制御によりP型を達成する。また,成長技術開発,ドーピング技術開発,ゲートスタック特性向上,縦型FET構造開発,コンパクトモデル開発,大規模集積化にむけた最適デバイスプロセス設計を進める。効果:2次元材料の導入により1世代先に進めることで,デジタルインフラすべてで30%のCO2削減量を達成できる。
研究領域地球規模課題である低炭素社会の実現「「ゲームチェンジングテクノロジー」による低炭素社会の実現」

報告書

(2件)
  • 2023 年次報告書 ( PDF )
  • 2022 年次報告書 ( PDF )

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JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2023-01-10   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2025-03-26  

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