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3Dチップレット型ヘテロ量子デバイスの創生

研究課題

戦略的な研究開発の推進 戦略的創造研究推進事業 さきがけ

体系的番号 JPMJPR22B3
DOI https://doi.org/10.52926/JPMJPR22B3

研究代表者

井上 史大  横浜国立大学, 大学院工学研究院, 准教授

研究期間 (年度) 2022 – 2025
概要3Dチップレット技術を量子コンピュータ集積技術に取り込み、さらなる高集積量子ビット、高温動作、長デコヒーレンス時間の3Dチップレット型ヘテロ量子コンピュータを創出します。ヘテロ量子コンピュータ創成を見据えた直接接合技術の理解深化と小径ウエハの新規スケールアップ手法、超伝導ボトムアップ配線形成技術の確立を目指します。
研究領域情報担体とその集積のための材料・デバイス・システム
  • 主な研究成果

    (2件)

すべて 2024

すべて 雑誌論文 (2件) (査読あり 2件、 オープンアクセス 1件)

  • [雑誌論文] D2W Hybrid Bonding System Achieving High-Accuracy and High-Throughput With Minimal Configurations2024

    • 著者名
      Kentaro Mihara, Takashi Hare, Hirofumi Sakai, Shimpei Aoki, Toyoharu Terada, Mariappan Murugesan, Hiryuki Hashimoto, Hisashi Kino, Tetsu Tanaka, Takafumi Fukushima, Fumihiro Inoue, Akira Uedono
    • 雑誌名

      2024 IEEE 74th Electronic Components and Technology Conference (ECTC)

      巻: 60 ページ: 420-426

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Annealing behaviors of open spaces and gas desorption in chemical vapor deposited SiO2 studied with monoenergetic positron beams2024

    • 著者名
      Akira Uedono, Ryu Hasunuma, Koki Onishi, Hayato Kitagawa, Fumihiro Inoue, Koji Michishio, Nagayasu Oshima
    • 雑誌名

      Journal of Applied Physics

    • 査読あり / オープンアクセス

URL: 

JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2023-12-27   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2026-09-08  

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