半導体ハードウェアセキュリティを強化するナノX線源の開発

研究課題

体系的番号	JPMJAX22K7
DOI	https://doi.org/10.52926/JPMJAX22K7
研究代表者	澁谷達則産業技術総合研究所, 計量標準総合センター, 研究員
研究期間 (年度)	2022 – 2024
概要	半導体デバイスを狙ったサイバー攻撃が全世界的に増加しています。しかし、半導体の持つナノ構造を非破壊的に計測することは難しく、サイバー攻撃パラメータと半導体ナノ構造パラメータの紐付けはできていません。そこで本研究では、ナノレベルの非破壊測定を実現するために、レーザー誘導ナノ化技術を応用した新しいナノX線源の実現を目指します。
研究領域	リアル空間を強靭にするハードウェアの未来

報告書

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