レプリカ法による光学研磨不要な超軽量高精度ＣＦＲＰミラーの開発

研究課題

体系的番号	JPMJTT23J1
DOI	https://doi.org/10.52926/JPMJTT23J1
企業責任者	尾崎毅志株式会社テックラボ, CEO
研究期間 (年度)	2023 – (非公開)
概要	株式会社テックラボは、ＣＦＲＰ表面に均一な樹脂層を形成することでプリントスルーを覆い隠すことにより、光学研磨が不要で高精度な鏡面を実現する「レプリカ法」という製法を発展させてきた。レプリカ法ではプリントスルーのような局所的な凹凸は滑らかにすることができるが、大型ＬＣＤ製造装置に用いられる３メートルを超えるバーミラーで生じるたわみなどのミラー全体の凹凸までは滑らかにすることが難しい。この課題を解決するため、熱膨張ゼロの素材の型枠を使ってＣＦＲＰ全体を平坦にする成形技術を新規に開発する。さらに、愛媛大学の粟木教授らの研究成果である、ＣＦＲＰ表面を薄板ガラスで積層する技術とレプリカ法を組み合わせ、プリントスルーを抑制し、超高精度な鏡面を持つ３メートルサイズの大型バーミラーを開発する。