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6G用圧電単結晶薄膜/多層膜基板構造弾性波デバイス基盤技術の研究開発

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 研究成果最適展開支援プログラム(A-STEP) 産学共同(本格型)

体系的番号 JPMJTR231C
DOI https://doi.org/10.52926/JPMJTR231C
企業責任者 ジオマテック株式会社
研究責任者 柳谷 隆彦  早稲田大学, 理工学術院, 教授
研究期間 (年度) 2023 – 2027 (予定)
概要次世代移動通信システム6Gでは40GHz 超の周波数帯の利用が計画されているが、現状この周波数帯での弾性波フィルタが実現できていない。本研究では、これを実現するためにエピタキシャル圧電薄膜を用いたSM-BAWデバイスに着目し、そのデバイス構造の鍵である、高反射率の音響ブラッグ反射多層膜、超高周波帯で超音波の励振可能な高品質圧電単結晶薄膜およびその大口径化技術を開発する。40GHz超の弾性波デバイス実現のための基盤技術を確立し、次世代通信規格の高密度周波数活用に貢献するとともに、次世代通信規格の世界標準獲得に貢献する。
  • 主な研究成果

    (51件)

すべて 2024

すべて 雑誌論文 (51件)

  • [雑誌論文] GHz voltage amplification in a stack of piezoelectric ScAlN and non-piezoelectric SiO2 layers2024

    • 著者名
      S. Kinoshita, H. Kishi, K. Izumi, and T. Yanagitani
    • 雑誌名

      Applied Physics Express.

      巻: 17 ページ: 116501

    • DOI

      10.35848/1882-0786/ad8da5

  • [雑誌論文] エピタキシャルZnO薄膜を用いたBAW型圧電薄膜昇圧素子2024

    • 著者名
      木下 紗里那,岸 大貴,小林 栞,柳谷 隆彦
    • 雑誌名

      電子情報通信学会 和文論文誌 C

    • DOI

      10.14923/transelej.2024JCL0004

  • [雑誌論文] k332 estimation of thin films via piezoelectric stiffening using ultrasonic reflectometry2024

    • 著者名
      Y. Shimano, M. Suzuki, T. Yanagitani
    • 雑誌名

      IEEE Open Journal of Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control

      巻: 5 ページ: 1-5

    • DOI

      10.1109/OJUFFC.2025.3537962

  • [雑誌論文] Zig-zag ScAlN 12-layer for shear mode BAW transformer application in rectenna2024

    • 著者名
      S. Kinoshita, R. Karasawa, Y. Shimano, M. Matsumura, and T. Yanagitani
    • 雑誌名

      IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control

      巻: 72 号: 4 ページ: 547-554

    • DOI

      10.1109/TUFFC.2025.3546780

  • [雑誌論文] High-overtone mode piezoelectric transformer based on c-axis zigzag ScAlN multilayer for wake-up receiver application2024

    • 著者名
      S. Kinoshita, R. Karasawa, and T. Yanagitani
    • 雑誌名

      AIP Adv.

      巻: 15 ページ: 045010

    • DOI

      10.1063/5.0260623

  • [雑誌論文] Polarization-Inverted Growth of ScAlN Thin Film by Si doping2024

    • 著者名
      A. Hanai, Y. Shimano, and T. Yanagitani
    • 雑誌名

      Proc.The 2024 IEEE Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control Joint Symposium

    • DOI

      10.1109/UFFC-JS60046.2024.10793521

  • [雑誌論文] ScAlN Thick Film Concave Lens Transducer in the 20-90 MHz2024

    • 著者名
      Z. Lai, Y. Shimano, I. Endo, J. Jia, and T. Yanagitani
    • 雑誌名

      Proc.The 2024 IEEE Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control Joint Symposium

    • DOI

      10.1109/UFFC-JS60046.2024.10793505

  • [雑誌論文] ScAlNおよびLiNbO?エピタキシャル圧電薄膜のBAWフィルタ応用の現状2024

    • 著者名
      柳谷 隆彦
    • 雑誌名

      第85回応用物理学会秋季学術講演会

  • [雑誌論文] 分極反転ScAlN薄膜を用いた高次モードBAW共振子2024

    • 著者名
      柳谷 隆彦
    • 雑誌名

      電子情報通信学会研究報告

      巻: 124 号: 375 ページ: 69-74

  • [雑誌論文] GHz帯超音波パルスエコー法を用いたScAlN、ZnO、GaN圧電薄膜や金属膜の機械的Qm値評価手法2024

    • 著者名
      島野耀康、柳谷隆彦
    • 雑誌名

      第72回応用物理学会春季学術講演会

  • [雑誌論文] 誘電率eTとeSの差を用いた基板付き薄膜共振子のk33?推定2024

    • 著者名
      内田 拓希、浴田 航平、島野 耀康、柳谷 隆彦
    • 雑誌名

      第53回EMシンポジウム予稿集

  • [雑誌論文] 20-90 MHz 帯域幅のScAlN厚膜平凹レンズトランスデューサ2024

    • 著者名
      頼 展域、島野 耀康、遠藤 樹、柳谷 隆彦
    • 雑誌名

      第53回EMシンポジウム予稿集

  • [雑誌論文] 反射率測定を用いた音響電気効果による薄膜の電気機械結合係数の推定2024

    • 著者名
      鈴木 基嗣、島野 耀康、柳谷 隆彦
    • 雑誌名

      第53回EMシンポジウム予稿集

  • [雑誌論文] RFフィルタ用圧電薄膜のGHz帯音響摩擦の評価手法2024

    • 著者名
      島野 耀康、柳谷 隆彦
    • 雑誌名

      電子情報通信学会研究報告

      巻: 124 号: 96 ページ: 13-14

  • [雑誌論文] 地デジ帯レクテナ応用に向けた広帯域圧電薄膜トランス2024

    • 著者名
      浴田 航平、木下 紗里那、島野 耀康、柳谷 隆彦
    • 雑誌名

      電子情報通信学会研究報告

      巻: 124 号: 96 ページ: 15-17

  • [雑誌論文] GHz帯RLC電気共振を用いた圧電薄膜の電気機械結合係数k33?の測定2024

    • 著者名
      内田 拓希、浴田 航平、島野 耀康、柳谷 隆彦
    • 雑誌名

      電子情報通信学会研究報告

      巻: 124 号: 96 ページ: 18-19

  • [雑誌論文] GHz帯RFフィルタに向けたチタン酸鉛エピ薄膜共振子2024

    • 著者名
      下山 航、島野 耀康、柳谷 隆彦
    • 雑誌名

      電子情報通信学会研究報告

      巻: 124 号: 96 ページ: 56-57

  • [雑誌論文] 多重エコー集約および誘電率の比を用いた基板付き圧電薄膜の電気機械結合係数推定法2024

    • 著者名
      島野 耀康、浴田 航平、柳谷 隆彦
    • 雑誌名

      電子情報通信学会研究報告

      巻: 124 号: 141 ページ: 37-42

  • [雑誌論文] GHz帯パルスエコー法による音響多層膜単体の縦波および横波機械的通過損失の抽出2024

    • 著者名
      鈴木 基嗣、島野 耀康、柳谷 隆彦
    • 雑誌名

      電子情報通信学会研究報告

      巻: 124 号: 141 ページ: 52-57

  • [雑誌論文] エピタキシャルPbTiO3薄膜を用いたSMR型BAW共振子2024

    • 著者名
      下山 航、島野 耀康、柳谷 隆彦
    • 雑誌名

      電子情報通信学会研究報告

      巻: 124 号: 141 ページ: 75-80

  • [雑誌論文] ScAlN薄膜と純AlN薄膜のGHz帯ヒステリシス特性2024

    • 著者名
      松村 理司、花井 彩香、柳谷 隆彦
    • 雑誌名

      電子情報通信学会研究報告

      巻: 124 号: 141 ページ: 81-86

  • [雑誌論文] 超音波パルスエコー法を用いたScAlN、AlN、ZnO膜の機械的Qm値評価手法2024

    • 著者名
      島野 耀康、柳谷 隆彦
    • 雑誌名

      第85回応用物理学会秋季学術講演会

  • [雑誌論文] ScAlN薄膜を用いた分極反転多層構造SMRによる二重モード型BAWフィルタ(DMB)2024

    • 著者名
      松村 桃佳、柴田 真之、柳谷 隆彦
    • 雑誌名

      第85回応用物理学会秋季学術講演会

  • [雑誌論文] 誘電率eTとeSの差を用いた圧電薄膜の電気機械結合係数k33?の抽出2024

    • 著者名
      内田 拓希、浴田 航平、島野 耀康、柳谷 隆彦
    • 雑誌名

      第85回応用物理学会秋季学術講演会

  • [雑誌論文] c軸垂直および傾斜ScAlNの大面積成膜に向けた?矩形カソードスパッタリング2024

    • 著者名
      浴田 航平、島野 耀康、柳谷 隆彦
    • 雑誌名

      第85回応用物理学会秋季学術講演会

  • [雑誌論文] 電極抵抗低減に向けて上下電極にエピタキシャル金属ブラッグ反射器を採用したSMR2024

    • 著者名
      富岡 美咲、柳谷 隆彦
    • 雑誌名

      第85回応用物理学会秋季学術講演会

  • [雑誌論文] オフ角基板を用いたc軸傾斜エピタキシャルLiNbO3薄膜SMR?2024

    • 著者名
      内田 拓希、柳谷 隆彦
    • 雑誌名

      電子情報通信学会研究報告

      巻: 124 号: 235 ページ: 35-40

  • [雑誌論文] GHz帯パルスエコー法による減衰定数推定を用いた薄膜の機械的Qm値評価手法2024

    • 著者名
      島野 耀康, 柳谷 隆彦
    • 雑誌名

      超音波シンポジウム USE2024予稿集

      巻: 45 ページ: 108

    • DOI

      https://doi.org/10.24492/use.45.0_2P2-10

  • [雑誌論文] 周期的分極反転構造を用いたベタ電極によるSAWの励振2024

    • 著者名
      松村 理司, 島野 耀康, 大野 直輝, 柳谷 隆彦
    • 雑誌名

      超音波シンポジウム USE2024予稿集

      巻: 45 ページ: 38

    • DOI

      https://doi.org/10.24492/use.45.0_1P3-5

  • [雑誌論文] 反射率測定を用いた音響電気効果による薄膜の電気機械結合係数の評価2024

    • 著者名
      鈴木 基嗣, 島野 耀康, 柳谷 隆彦
    • 雑誌名

      超音波シンポジウム USE2024予稿集

      巻: 45 ページ: 107

    • DOI

      https://doi.org/10.24492/use.45.0_2P2-9

  • [雑誌論文] 誘電率eTとeSの比を用いた基板付き圧電薄膜の電気機械結合係数k33?の推定2024

    • 著者名
      浴田 航平, 島野 耀康, 柳谷 隆彦
    • 雑誌名

      超音波シンポジウム USE2024予稿集

      巻: 45 ページ: 37

    • DOI

      https://doi.org/10.24492/use.45.0_1P3-4

  • [雑誌論文] GaNおよびSiC半導体単結晶の空乏層を用いたGHz帯共振子2024

    • 著者名
      島崎 奈々,島野 耀康,柳谷 隆彦
    • 雑誌名

      圧電材料・デバイスシンポジウム2025予稿集

      ページ: 1-6

  • [雑誌論文] (K,Na)NbO3エピタキシャル薄膜のkt2の直流バイアスによる圧電性の向上2024

    • 著者名
      張 創昇, 内田 拓希, 島野 耀康, 柳谷 隆彦
    • 雑誌名

      圧電材料・デバイスシンポジウム2025予稿集

      ページ: 17-22

  • [雑誌論文] ScAlN薄膜の周期的分極反転構造を用いたベタ電極によるSAWの励振2024

    • 著者名
      日高 悠一郎, 松村 理司, 島野 耀康, 大野 直輝, 柳谷 隆彦, 長 康雄
    • 雑誌名

      圧電材料・デバイスシンポジウム2025予稿集

      ページ: 39-44

  • [雑誌論文] MEMS技術を用いず作製した低周波用のScAlN厚膜pMUT2024

    • 著者名
      遠藤 樹, 島野 耀康, 柳谷 隆彦
    • 雑誌名

      圧電材料・デバイスシンポジウム2025予稿集

      ページ: 79-84

  • [雑誌論文] 分極反転層の音響エネルギー閉じ込めを利用したBAW型液体センサ応用2024

    • 著者名
      今井 優希, 鈴木 基嗣, 島野 耀康, 柳谷 隆彦
    • 雑誌名

      圧電材料・デバイスシンポジウム2025予稿集

      ページ: 85-90

  • [雑誌論文] パルスエコー法による減衰推定を用いたScAlN, GaN, PbTiO3, ZnO圧電薄膜および金属膜の機械的品質係数Qm評価2024

    • 著者名
      味田 ここの, 島野 耀康, 柳谷 隆彦
    • 雑誌名

      圧電材料・デバイスシンポジウム2025予稿集

      ページ: 91-96

  • [雑誌論文] VHF帯の横波パルスエコー法を用いた薄膜材料の横波機械的品質係数Qm推定2024

    • 著者名
      松村 桃佳, 味田 ここの, 島野 耀康, 柳谷 隆彦
    • 雑誌名

      圧電材料・デバイスシンポジウム2025予稿集

      ページ: 97-102

  • [雑誌論文] ScAlNとAlNの抗電界差を利用した分極反転多層SMR2024

    • 著者名
      富岡 美咲, 島野 耀康, 島崎 奈々, 柳谷 隆彦
    • 雑誌名

      圧電材料・デバイスシンポジウム2025予稿集

      ページ: 133-138

  • [雑誌論文] スパッタガス比による極性制御した分極反転AlNを用いた高次モードSMR2024

    • 著者名
      花井 彩香, 柳谷 隆彦
    • 雑誌名

      圧電材料・デバイスシンポジウム2025予稿集

      ページ: 143-148

  • [雑誌論文] GHz帯パルスエコー法を用いたScAlN, GaN, PbTiO3, ZnO圧電薄膜や金属膜の機械的品質係数Qm評価法2024

    • 著者名
      島野 耀康, 味田 ここの, 下山 航, 柳谷 隆彦
    • 雑誌名

      電子情報通信学会研究報告

      巻: 124 号: 375 ページ: 1-6

  • [雑誌論文] 周期的分極反転構造のScAlN薄膜を用いたベタ電極でのSAW励振2024

    • 著者名
      松村 理司, 島野 耀康, 大野 直輝, 柳谷 隆彦, 長 康雄
    • 雑誌名

      電子情報通信学会研究報告

      巻: 124 号: 375 ページ: 7-12

  • [雑誌論文] 転写技術を用いた高次モードSc0.4Al0.6N分極反転2層SMR2024

    • 著者名
      鈴木 菜々海, 下山 航, 柳谷 隆彦
    • 雑誌名

      第72回応用物理学会春季学術講演会予稿集

  • [雑誌論文] 20-90MHz帯域幅のScAlN厚膜平凹レンズトランスデューサー2024

    • 著者名
      頼 展域, 島野 耀康, 遠藤 樹, 賈 軍軍, 柳谷 隆彦
    • 雑誌名

      第72回応用物理学会春季学術講演会予稿集

  • [雑誌論文] イオンビームアシストスパッタによるc軸平行ZnO四層分極反転共振子の作製2024

    • 著者名
      浴田 航平, 島野 耀康, 柳谷 隆彦
    • 雑誌名

      第72回応用物理学会春季学術講演会予稿集

  • [雑誌論文] 直線集束ビーム超音波材料解析システムによるScAlN薄膜の評価2024

    • 著者名
      大橋雄二, 櫛引淳一, 戸津健太郎, 花井彩香, 勝又彩馨, 柳谷隆彦, 竹野広晃, 伊東孝洋
    • 雑誌名

      第85回応用物理学会秋季学術講演会

  • [雑誌論文] UMS技術による光学厚さ計の校正法の検討2024

    • 著者名
      大橋雄二、櫛引淳一、戸津健太郎、伊東孝洋
    • 雑誌名

      弾性波素子技術コンソーシアム研究会

  • [雑誌論文] UMS技術による光学厚さ計の校正法の検討2024

    • 著者名
      大橋雄二、櫛引淳一、戸津健太郎、伊東孝洋
    • 雑誌名

      圧電材料・デバイスシンポジウム2025

  • [雑誌論文] UMS技術による光学厚さ計の校正法の検討2024

    • 著者名
      大橋雄二、櫛引淳一、戸津健太郎、伊東孝洋
    • 雑誌名

      第72回応用物理学会春季学術講演会

  • [雑誌論文] Evaluation of ScAlN Thin Films by Line-Focus-Beam Ultrasonic-Material-Characterization System2024

    • 著者名
      Y. Ohashi, J. Kushibiki, K. Totsu, A. Hanai, A. Katsumata, T. Yanagitani, H. Takeno, T. Ito
    • 雑誌名

      IEEE Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control Joint Symposium

  • [雑誌論文] Evaluation of ScAlN Thin Films by Line-Focus-Beam Ultrasonic-Material-Characterization System2024

    • 著者名
      Y. Ohashi, J. Kushibiki, K. Totsu, A. Hanai, A. Katsumata, T. Yanagitani, H. Takeno, T. Ito
    • 雑誌名

      21st US-Japan Seminar, on Dielectric and Piezoelectric Ceramics

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JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2023-12-27   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2026-09-08  

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